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产品简介
产品规格书
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蓝宝石基氮化铝外延衬底Tempalte（2~6inch） | |||
衬底直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm |
蓝宝石衬底厚度 | 430μm | 650μm | 1000μm |
蓝宝石衬底表面 | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS |
蓝宝石衬底晶向 | C-Plane | ||
外延导电类型 | UID | ||
外延掺杂元素 | Undoped | ||
外延层厚度 | 0.1~2 μm | ||
介绍：蓝宝石基氮化铝（AlN）薄膜是一种在蓝宝石衬底上外延生长的宽禁带半导体材料，具有高热导率、高击穿电场和良好的紫外光透过性，特别适合用于紫外光电器件。
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应用：蓝宝石基氮化铝薄膜是UVC器件的关键材料，广泛应用于杀菌消毒、紫外通信、医疗检测和高功率电子领域。用于5G通信基站、卫星通信和雷达系统；高频性能优异，适合毫米波应用。用于电动汽车、工业电源和快速充电器。用于航空航天、石油勘探等高温环境等高温电子器件。
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